第182章 追光破光刻机难题（1 / 2）

非洲大陆的星空下，陈醒挂断与林薇的电话，眼中的凝重几乎要满溢出来。

信息高速公路的宏伟蓝图刚刚在签约仪式上赢得满堂彩，基石却已在万里之外的华夏芯谷发出了不堪重负的呻吟。

他没有丝毫犹豫，改签了最近的航班，将非洲的后续事宜全权交给苏黛，星夜兼程，直飞合城。

当他踏入华夏芯谷那座庞大的丶无尘等级要求极高的主厂房时，一股压抑的气氛扑面而来。

生产线的轰鸣声依旧，但监控屏幕上那条代表28nm制程良率的曲线，却刺眼地徘徊在58%的低谷，像一个高烧不退的病人。

林薇丶金秉洙博士丶梁志远等人正围在一片晶圆旁，每个人的脸上都写满了疲惫与焦虑。

「陈总。」

林薇迎了上来，声音沙哑，她显然已经在这里连续奋战了多个日夜，

「情况比汇报的更复杂。不仅仅是单一型号的光刻胶断供。阿斯莫公司以及其背后的联盟，这次是系统性丶精准地卡住了我们的脖子。不仅暂停了供应28nm制程所需的高纯度ArF光刻胶，连用于晶片量测的特定波长雷射源模块丶以及高端计算光刻软体的授权更新也一并被限制了。」

金秉洙，这位拥有丰富大尺寸晶圆制造经验的韩国专家，指着电子显微镜下的一张晶圆图，语气沉重：

「陈总，您看。由于光刻胶的纯度不足和配方不适配，在曝光环节，图形边缘出现了严重的粗糙化和随机缺陷。这直接导致电晶体的关键尺寸失控，漏电率飙升，良率自然一落千丈。我们尝试调整曝光参数，但效果微乎其微。」

梁志远补充道，他的团队负责工艺整合：

「更棘手的是，我们自研的光刻胶与阿斯莫光刻机的接口参数需要精细匹配。现在缺少原厂的技术支持，就像拿着错误的钥匙去开锁，强行调试甚至可能导致光刻机内部精密光学元件的污染或损伤，风险极高。」

陈醒沉默地听着，目光扫过眼前这群中国半导体工业的脊梁，他们眼中的血丝和紧锁的眉头，诉说着这场「追光」之战的艰难。

他走到控制台前，手指轻轻拂过冰冷的金属外壳，仿佛能感受到其内部那颗被「卡住」的「心脏」。

「我们曾经攻克了12英寸晶圆的量产，实现了从无到有的跨越。现在面对的，是从『有』到『精』的壁垒。」

陈醒的声音在寂静的车间里回荡，不高，却带着一种定鼎人心的力量，

「以前，我们是在别人的规则下追赶；今天，他们用断供告诉我们，规则可以被随时修改。那我们的回答只能是：打破规则，建立属于我们自己的标准！」

他猛地转身，眼神锐利如刀：

「从现在起，启动『追光计划』最高应急响应，代号『破晓』！成立三个攻坚小组，我亲自协调资源。」

「第一组，光刻胶攻坚『火炬小组』，林薇任组长。 不要局限于替代，要瞄准超越！立刻与华科院化学研究所丶国内最大的化工集团成立联合实验室。他们负责基础树脂丶光酸剂等核心材料的合成纯化，我们负责晶片级别的配方调试与验证。我授权你们，调用『长城计划』首批百亿资金中的百分之三十，不惜代价，在全球范围内搜罗顶尖的光刻胶研发人才和关键原材料！」

「第二组，设备与工艺攻坚『钥匙小组』，金秉洙博士任组长。 任务有两个：一是逆向工程，吃透阿斯莫光刻机的接口协议，确保自研光刻胶上去能『点亮』，能运行。二是工艺创新，联合哈森院士丶章宸博士的架构团队，探索在现有受限设备条件下，通过计算光刻丶多重图形技术等软体和工艺手段，弥补硬体精度的不足。我会让赵静的AI团队全力配合，用AI模型来加速光刻工艺的仿真和优化！」

「第三组，供应链备份与国产化『根须小组』，梁志远任组长。 你的任务是『挖地三尺』，梳理国内所有可能替代的零部件丶材料丶软体供应商，哪怕性能只有对方的百分之八十，也要扶植起来，建立一条哪怕粗糙但完全自主的『B计划』供应链。同时，启动与欧罗巴丶霓虹二线供应商的秘密接触，利用东门子等合作夥伴的渠道，寻找一切可能的技术突破口和替代品。」

命令一下，整个未来科技和华夏芯谷如同一个上紧了发条的精密仪器，以前所未有的速度运转起来。

深城，华科院联合实验室内，灯火通明。

年过花甲但仍奋战在一线的许教授，看着林薇带来的晶圆缺陷图，眉头紧锁：

「ArF光刻胶的难点在于分子结构的精确控制和纳米级别的均匀度。国外巨头积累了数十年，专利壁垒森严。我们之前的研究更多是跟踪仿制，现在要短时间内实现超越，难度极大。」

「许老，我们没有时间按部就班了。」

林薇语气坚定，

「我们必须走一条不一样的路。他们追求极致的解析度，我们是否可以优先追求卓越的缺陷控制率和工艺窗口？哪怕牺牲一点点理论上的解析度，只要能让产线先以可接受的良率跑起来，就是胜利！」

这一思路打开了新的方向。联合团队放弃了完全复刻国外配方的想法，转而针对国产光刻机的特性和28nm工艺的痛点，进行全新的分子设计。

无数个日夜，实验室里充满了化学试剂的气味和激烈的讨论声。

一次次的合成，一次次的失败，测试晶圆上的缺陷仿佛一道道嘲笑的疤痕。

与此同时，在华夏芯谷的洁净室内，「钥匙小组」的挑战同样艰巨。

没有原厂支持，调试光刻机如同盲人摸象。一次激进的参数尝试，甚至导致一整个批次的晶圆彻底报废，损失高达数百万。

金秉洙博士顶着压力，组织团队彻夜分析数据。