第191章 追光二期攻EUV（1 / 2）

深城总部顶层的灯光，在二十五周年庆典的喧嚣散去后，并未熄灭，反而亮得更加执着，如同夜海中指引航向的灯塔。

庆典的鲜花与掌声已被收起，取而代之的是悬挂在战略指挥中心巨大电子屏上的，一幅全新的作战示意图——「追光计划」二期，EUV攻坚战总览图。

图上清晰标注着三路大军的进军路线丶技术节点与攻克时限，红丶蓝丶黄三色箭头，如同三柄利剑，直指那座名为「极紫外光刻」的技术珠峰。

陈醒站在图前，身后是公司所有核心高管。庆典上宣布的「领跑」宣言言犹在耳，但此刻，每个人都清楚，口号必须踏踏实实地踩在每一个原子丶每一束光的精度上。

「同志们，庆典结束了。」

台湾小说网解闷好，??????????.??????超实用

陈醒的声音打破了沉寂，没有激昂的动员，只有冰冷的理性。

「周明带来的消息大家都知道了。阿斯莫的管制升级，不是警告，是宣战。他们想把我们永远锁死在28nm的舒适区，扼杀我们向更高制程进军的所有可能。我们没有任何退路，『追光计划』二期，从现在起，进入战时状态！」

他的目光扫过众人，最终落在林薇丶金秉洙和梁志远身上。

「林薇，你作为项目总协调，我要你确保三路大军的资源，尤其是人才和资金，必须无限量丶无条件优先保障！金博士，梁工，正面战场，就交给你们了。」

第一路，正面强攻，「光源与光学」突击队。

合城，华夏芯谷深处，新落成的EUV光源实验室。这里的气氛比超净间更加凝重，空气中弥漫着臭氧和金属加热后的特殊气味，巨大的二氧化碳雷射器阵列发出低沉的嗡鸣。

金秉洙博士双眼布满血丝，紧盯着主控屏幕上疯狂跳动的数据。第三次锡滴雷射轰击实验刚刚结束，结果依旧不理想。

「功率稳定度92.3%，距离95%的工程化门槛还差一口气。」

一位年轻工程师声音乾涩地汇报，脸上写满了沮丧。

「锡滴的生成频率和雷射的同步精度，始终有纳秒级的抖动，导致等离子体状态不稳定，EUV光输出功率波动太大。」

纳秒，对于常人而言是无法感知的一瞬，但对于需要以每秒数万次频率精准轰击微米级锡滴的EUV光源来说，却是生与死的界限。

「问题出在哪里？是雷射器的脉冲控制，还是锡滴发生器的机械振动？」

金秉洙的声音嘶哑，他已经在实验室连续盯了48小时。

「我们排查了所有已知的可能。雷射器的稳定性已经做到了当前技术的极限。锡滴发生器的材料在连续高频冲击下，出现了微米级的形变……这可能就是抖动的根源。」

来自华科院东北光机所的专家，指着电子显微镜下的一张材料结构图，眉头紧锁。

「我们需要一种全新的丶具备极高抗疲劳强度和热稳定性的合金材料。」

材料！又是材料！这仿佛是华夏科技向上攀登道路上，永远绕不开的拦路虎。

「国内有能做的吗？」

金秉洙问，心里其实已经有了答案。

「有几家顶尖的材料研究所，但……时间。从配方设计丶熔炼丶到性能测试丶叠代，没有一年半载，很难拿出满足要求的样品。」

一年半载？陈醒给出的两年工程样机时限，瞬间就显得无比紧迫。

就在这时，实验室的门被推开，林薇带着一位身着便装，但气质精干的中年人走了进来。

「金博士，介绍一下，这位是徐文渊教授，国家新材料重点实验室的首席科学家，也是我们『星火计划』最早期的顾问之一。徐教授在耐高温高强合金领域，是国内的绝对权威。」

徐文渊没有寒暄，直接走到显微镜屏幕前，仔细看着那张材料结构图。

「问题很典型。高频冲击下的晶界滑移和再结晶导致的疲劳。传统的镍基合金路线走到头了。」

他抬起头，眼中闪烁着挑战难题的光芒。

「我最近正在验证一种新的铼铱钽三元复合材料理论模型，或许可以解决这个问题。但需要调用国家实验室的兆吨级压力熔炼炉，而且……失败率会很高。」

「需要什麽支持？」 林薇言简意赅。

「钱，人，以及……不怕失败的决心。」

徐文渊看向金秉洙，

「我可以立刻组织团队，但需要你们光源团队提供最详尽的工况参数和失效模型数据。」

「没问题！」

金秉洙眼中重新燃起希望的火光，

「我们全力配合！」

一条新的协作链路，在绝境中迅速搭建起来。

国家力量的深度介入，为这场硬仗带来了新的变数。

第二路，迂回包抄，「工艺与集成」智囊团。

在同一栋楼的另一间大型实验室里，气氛则截然不同。

这里没有震耳欲聋的雷射轰鸣，只有计算机集群散热风扇的呼啸，以及白板上密密麻麻的公式和设计图。

梁志远和通过视频远程接入的章宸正带领着团队，进行着一场「螺蛳壳里做道场」的极限挑战：在不依赖EUV的情况下，利用现有的DUV光刻机，通过多重图形技术和设计-工艺协同优化（DTCO），无限逼近14nm工艺的性能。

屏幕上，复杂的晶片布局图被各种颜色的线条层层分割，代表着一次次的光刻丶刻蚀丶沉积步骤。

「第四次仿真结果出来了。」

一位工程师汇报，声音带着一丝疲惫，

「采用三重图形技术，理论上可以将线宽压缩到16nm，但……工序步骤增加了287%，预计良率……只有可怜的18%。成本是EUV路线的三倍以上。」

18%的良率，三倍的成本！