第205章 宝岛电路传来异常数据（1 / 2）

林薇被紧急通讯请求的震动唤醒。窗外天色微明，亚热带清晨特有的湿润空气透过未关严的窗缝渗入房间。她看了一眼来电显示，宝积电研发中心的加密线路。

「林总，抱歉这麽早打扰。」电话那头是约翰·陈的声音，失去了往日的从容，带着一种压抑的紧迫感，「昨晚进行的TC-224新沉积方案验证实验，出了些……异常情况。」

林薇瞬间清醒，从床上坐起：「什麽异常？」

「验证组按您提供的参数，在凌晨两点启动了第一个批次实验。」约翰·陈语速很快，「前三个样品看起来一切正常，沉积速率丶薄膜厚度丶反射率曲线都符合预期。但第四个样品，设备监控系统记录到一个短暂的功率波动。」

「功率波动？」林薇赤脚走到书桌前，打开笔记本电脑，「幅度多大？持续时间？」

「沉积电源输出功率在0.3秒内下降了8.2%，随即恢复正常。」约翰·陈那边传来翻动纸张的声音，「由于波动时间太短，在线质量监控系统没有触发警报，按照规程继续完成了整个沉积过程。但今天早上，当我们取出样品进行初步检测时……」

他停顿了一下，声音变得艰涩：「第四个样品的氮化铝过渡层，出现了我们从未见过的微观结构。」

林薇的手指在键盘上快速敲击，远程登录到宝积电的安全数据伺服器：「把扫描电镜图像和X射线衍射数据发给我。现在。」

「已经发送到您的加密帐户。」约翰·陈说，「林总，我需要您马上来研发中心。我们的材料专家说，这种结构……很不寻常。」

半小时后，林薇已经坐在宝积电研发中心的洁净室观察区。透过双层玻璃，她能看到里面穿着无尘服的技术人员正在操作原子力显微镜。屏幕上，第四号样品的表面形貌图正在逐渐清晰。

约翰·陈站在她身边，手里拿着刚列印出来的数据报告，脸色凝重。

「看这里。」林薇指着屏幕上的高分辨图像。在氮化铝薄膜表面，原本应该呈现均匀柱状晶结构的区域，出现了一片直径约两百纳米的圆形区域。在这个区域内，晶体排列呈现出一种奇异的放射状图案，仿佛水面的涟漪被瞬间冻结。

更诡异的是，放射状图案的中心点，原子力显微镜的探针检测到了异常的硬度，比正常氮化铝高出近三倍。

「这是什麽？」林薇问。

「我们不知道。」回答的是宝积电材料实验室的主任，一位头发花白的博士，隔着玻璃用通讯器说道，「这种放射状晶体生长模式，在氮化铝沉积中从未报导过。中心点的高硬度区域……我们做了微区X射线能谱分析，成分还是氮化铝，没有掺杂其他元素。」

林薇调出X射线衍射图谱。正常的氮化铝薄膜应该显示出清晰的(002)晶面择优取向峰，但第四号样品的图谱上，除了主峰外，还出现了几个微弱的额外峰位。

「这些额外峰……」她放大图谱，「对应的是什麽晶面？」

「我们查遍了资料库。」材料主任的声音带着困惑，「这些衍射角对应的晶面间距，在标准氮化铝晶体结构中不存在。除非……」

「除非晶体结构本身发生了改变。」林薇接过话头，「氮化铝通常是纤锌矿结构，但有没有可能在特定条件下，形成某种亚稳态的晶体变体？」

观察室里安静了几秒。约翰·陈打破了沉默：「理论上可能，但需要极端条件，高压丶高温，或者强烈的电场作用。我们的沉积过程根本不具备这些条件。」

林薇没有立即回应。她的目光在几个屏幕间移动：原子力显微镜图像丶X射线衍射图谱丶沉积过程的实时监控数据……突然，她注意到一个细节。

「功率波动发生的确切时间点，与沉积层的对应关系是什麽？」她问操作员。

技术人员调出时间同步数据。屏幕上，沉积过程的参数曲线与薄膜生长的模拟图像并列显示。那条代表电源功率的蓝色曲线，在某个时刻突然下凹，随即恢复。

「波动发生在沉积进行到第47纳米厚度时。」技术人员用光标标记位置，「对应的是薄膜生长中期。」

林薇放大那个时间点的所有传感器数据。温度丶压力丶气体流量丶等离子体密度……在功率波动的0.3秒内，几乎所有参数都发生了同步的微小变化。

但有一个参数例外。

「衬底偏压。」林薇指着一条几乎保持水平的红色曲线，「为什麽衬底偏压没有变化？」

衬底偏压是沉积过程中施加在矽片上的直流电压，用于吸引离子丶控制薄膜的致密性和应力。通常，它应该与等离子体功率联动调节。

约翰·陈凑近屏幕：「偏压电源是独立控制的……等等，这里有问题。」

他调出偏压电源的详细日志。在功率波动的同一时刻，偏压电源的记录显示：「外部干扰检测，自动切换至缓冲模式。」

「缓冲模式？」林薇皱眉。

「我们的偏压电源有智能保护功能。」电源工程师解释道，「如果检测到来自电网或设备内部的异常干扰，它会自动切换到一个隔离变压器缓冲回路，避免干扰传递到样品。但在切换过程中，输出电压会有一个极短暂的……相位漂移。」

相位漂移。林薇的脑海里突然闪过一个念头。

「把功率波动前后0.5秒的偏压波形完整数据调出来。」她的声音变得急促，「最高采样率的那组。」

数据被提取出来。在高速采集模式下，原本平滑的直流偏压曲线，显示出肉眼难以察觉的细节，在功率波动的瞬间，偏压信号上叠加了一个高频振荡，频率大约在1.2兆赫兹，振幅很小，只持续了五个周期。

「1.2兆赫兹……」林薇喃喃道，手指在虚拟键盘上快速计算，「这个频率对应的波长……在氮化铝中的传播特性……」

她突然停下，抬头看向约翰·陈：「我需要立即联系华夏芯谷。现在。」

二十分钟后，一场跨越海峡的视频会议紧急召开。

华夏芯谷这边，陈醒丶章晴丶金秉洙聚集在EUV光源实验室的会议室。宝岛这边，林薇丶约翰·陈和宝积电的技术团队在线。

「陈总，请章晴描述一下13.52nm异常光谱峰的特徵。」林薇开门见山。

章晴在视频那头调出数据：「异常峰出现在13.52nm波长，比标准的13.5nm偏移0.02nm。持续时间不等，从0.2秒到0.5秒，出现时间随机，没有明显规律。光谱半高宽比正常峰略窄，强度约为正常EUV辐射的千分之三。」

「0.02nm偏移……」林薇重复这个数字，「对应多少能量差？」

「大约0.014电子伏特。」章晴回答。

林薇转向宝积电的电源工程师：「你们偏压电源的高频振荡频率是1.2兆赫兹。如果这个振荡通过某种机制耦合到等离子体中，可能产生什麽效应？」

工程师愣住了：「理论上……高频振荡可能激发等离子体中的特定波模，产生参数共振。但这需要非常精确的频率匹配，而且我们的振荡振幅太小，不足以产生可观测的效应……」

「除非有放大机制。」陈醒的声音从扬声器传来，他一直在沉默地听，「林薇，你是不是怀疑，宝积电沉积设备的电源干扰，和『追光二期』的光谱异常，有共同的物理根源？」

「我需要验证一个假设。」林薇调出两份数据并列显示，左边是EUV异常光谱的时间序列，右边是宝积电沉积过程的完整监控记录，「章晴，你们能精确测量异常光谱出现的时间吗？精确到毫秒级。」