第154章 阿斯莫光刻机封锁启动追光（2 / 2）

「我们已经将阿斯莫设备上所有不影响当前生产丶且能安全获取的运行数据丶日志文件进行了封存备份，这些一手数据，对各个攻关团队来说，是无价之宝。」

第三，装备与工艺协同。 林薇接过话头，她面前摆着的是星流未来屏幕工厂和晶片前道工艺的资料。

「光刻机只是工具，最终目的是在矽片上刻出合格的电路。『追光计划』必须与我们的晶片制造工艺研发深度协同。我们会立即成立一个联合工艺小组，驻扎在这里。光刻机的任何进展，都要第一时间在我们的工艺线上进行验证和叠代；反过来，我们在矽片材料丶光刻胶丶涂布显影等配套工艺上的任何突破，也要反馈给光刻机团队，优化设备参数。」

她目光坚定地看向陈醒和张京京：

「这能确保我们造出的『中国光刻机』，从一开始就是为『中国晶片』量身定制的，是最适合我们工艺体系的利器，而不是一个简单的仿制品。」

第四，人才与时间表。 计划制定了极其严苛，甚至被外界看来是「不可能完成」的时间节点：6个月内，完成所有子系统技术路径论证和初步设计；18个月内，拿出工程样机并进行单项技术验证；36个月内，实现首台国产浸没式光刻机的整机集成与流片测试。

「我知道这个时间表非常激进。」

陈醒看着与会众人，

「但我们没有慢慢来的资本。天权3号等不了，国家的期望等不了，我们自己的生存更是等不了！『星火燎原』股权激励已经落地，现在，是时候让所有人看到，我们配得上这份信任，担得起这份重托！」

「追光计划」全面启动，这座大楼迅速变成了一个不同学术背景丶不同工业领域精英们碰撞思想丶攻坚克难的熔炉。走廊里随处可见激烈讨论的工程师，白板上写满了复杂的公式和草图，实验室里通宵达旦地亮着灯光。

然而，困难远超想像。仅仅是理解阿斯莫光刻机那数以十万计的零部件功能与相互关联，就是一个浩瀚如烟的工程。

一些特殊的核心材料，如制造顶级物镜所需的超低膨胀系数玻璃丶镜面多层膜材料，其配方和工艺完全被国外巨头垄断，国内基础几乎为零。

张京京团队在光源实验室里，面对如何稳定产生并控制极紫外光这一世界级难题，进展缓慢，一次次实验，一次次失败。

李明哲则要应对更加现实的威胁：现有阿斯莫设备的维护。

随着原厂技术支持的断绝，一些设备的稳定性开始出现细微的下滑，产能和良率都受到了潜在影响。

他组织了一支由公司最资深设备工程师组成的「特种维护队」，靠着有限的图纸和以往的经验，小心翼翼地维持着这些「娇贵」设备的运转，每一次非计划停机都让所有人捏一把汗。

一天深夜，林薇在「追光」指挥部处理完一个工艺匹配的问题后，没有直接回家，而是绕道去了晶片前道制程的研发实验室。

她心里始终惦记着那个能提升良率的矽片清洗新工艺。

在翻阅一批刚出来的测试晶圆电性参数报告时，她敏锐地注意到一个奇怪的现象：在某一批次使用了某种实验性清洗配方的晶圆上，虽然整体良率没有显着提升，但在特定图形区域，线宽均匀性却出现了异常优异的数据。

这个发现让她心头一动。她立刻调出了该批次清洗工艺的详细记录，反覆比对参数，一个之前被忽略的可能性，在她脑海中逐渐清晰起来。

也许，问题不是出在清洗的「力度」上，而是出在清洗的「精度」和与后续光刻丶刻蚀工艺的「协同」上？

她立刻在实验日志上做了详细的标记，并给自己定下了一个任务：明天一早，就召集清洗和工艺集成团队的负责人，沿着这个新的方向，重新设计实验方案。

也就在这个夜晚，陈醒接到了「芯火燎原」计划国家层面推进办公室的正式通知：「追光」专项，已被列为「芯火燎原」计划内，优先级最高丶保密等级最高的「头号工程」，代号「铸剑」。

国家将调动一切可调动的资源，为其保驾护航。

放下电话，陈醒走到窗边，望着「追光」大楼那彻夜不息的灯火。

前路依旧迷雾重重，荆棘密布。但他知道，一支人心凝聚丶目标明确的队伍，已经向着那看似不可逾越的技术巅峰，发起了最决绝的冲锋。