第155章 林薇发现矽片清洗新工艺（1 / 2）

「追光计划」在全速推进，但笼罩在合城产业园上空的阴云并未散去。

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张京京团队在极紫外光源的实验室里，依然在与难以捉摸的等离子体稳定性搏斗；李明哲的「特种维护队」如同在刀尖上跳舞，竭力维持着那几台阿斯莫光刻机脆弱的平衡。

每一次非计划停机，都意味着宝贵的产能损失和良率波动，也像是在所有人紧绷的神经上又拧紧了一圈。

就在这举步维艰的时刻，林薇在矽片清洗这个看似「辅助」环节上的执着，开始显露出其意想不到的战略价值。

她没有立刻大张旗鼓地宣布，而是带着一种近乎偏执的谨慎，开始了她的求证之路。

第二天一早，她并未召集大规模会议，而是只叫来了清洗工艺实验室的负责人，一位名叫孙浩的年轻博士，以及负责工艺集成的资深工程师老周。

实验室里，空气中弥漫着淡淡的化学试剂气味。林薇指着那批异常数据，开门见山：

「孙博士，老周，你们看这一批次的测试结果。整体良率平平，但在这些高密度电晶体阵列区域，线宽均匀性和边缘粗糙度的数据，好得反常。这和你们使用的C-37号实验清洗配方有关。」

孙浩推了推眼镜，仔细看着数据，有些不解：

「林总，C-37配方我们主要是为了测试一种新型表面活性剂对纳米级颗粒的去除效果。从整体缺陷扫描来看，颗粒控制确实没有显着提升，所以这个配方当时就被标记为『效果不彰』了。您说的这个局部均匀性提升……我们当时没太关注。」

「问题就在这里。」

林薇目光锐利，

「我们过去评估清洗工艺，太过于关注宏观的丶平均的指标，比如整体缺陷密度丶平均良率。但我们可能忽略了一点：在先进位程下，尤其是在光刻和刻蚀之后，图形结构的微观状态，可能比是否存在一个随机缺陷，对最终的电性性能和良率影响更大！」

老周若有所思地摸着下巴：

「您的意思是，C-37配方可能没有强力去除所有颗粒，但它用一种更『温和』或者更『精准』的方式，改变了矽片表面的微观化学环境，或者清除了某种我们之前没有监测到的丶在图形边缘特定的污染物，从而优化了后续工艺的窗口？」

「没错！」

林薇赞许地点头，

「我怀疑，我们传统的丶追求『绝对洁净』的强力清洗方案，在去除污染的同时，可能也对细微的图形结构造成了不可见的损伤或改变，这种损伤在后续苛刻的刻蚀和离子注入过程中会被放大。而C-37，或许找到了一种『选择性清洗』或者『界面修饰』的路径。」

她立刻下达指令：

「孙博士，你带领团队，立刻围绕C-37配方的基础成分，设计一个全新的丶系统性的实验矩阵。不要只看颗粒和宏观良率，要把重点放在不同图形尺寸丶不同图形密度下的线宽变化丶边缘粗糙度丶以及界面态密度这些微观参数上。老周，你协调前后道工艺，确保测试晶圆能贯穿整个制程，我们需要最终的电性参数来验证。」

一场静悄悄的丶但目标明确的「微雕」战役，在清洗实验室里打响了。孙浩团队按照林薇指引的新方向，调整了数十种配方参数：pH值的微调丶添加剂浓度的精确控制丶清洗时间的分秒级变化丶乃至清洗时兆声波的能量和频率……

每一个变量都被精细操控，试图捕捉到那个能完美「呵护」图形结构的魔法组合。

林薇几乎每天都泡在实验室里。她穿着洁净服，和孙浩等人一起分析数据，讨论机理。

有时她会抱着已经会咿呀学语的小芯，在实验室外的监控室里，透过玻璃墙看着里面的忙碌。

小芯挥舞着小手，对着里面闪烁的指示灯和穿着「奇怪」衣服的叔叔阿姨咯咯直笑。这一刻，科技攻坚与生命成长，以一种奇妙的方式交织在一起。

过程并非一帆风顺。大部分实验配方效果甚至不如传统方案，有些还引入了新的问题。

质疑的声音偶尔也会出现：在光刻机这种「心脏」级装备被卡脖子的时候，投入如此多精力去研究「洗脸」的学问，是否值得？

但林薇顶住了压力。她坚信，在极限工艺下，任何一个环节的微小优化，都可能带来系统性的突破。

她从星流屏幕的精细化制造经验中汲取灵感，认为晶片制造本质上也是一种极致的「微纳结构」制造，对界面和表面的控制至关重要。