第155章 林薇发现矽片清洗新工艺（2 / 2）

转机发生在一个周五的深夜。孙浩盯着最新一轮实验的数据屏幕，眼睛因为长时间聚焦而布满血丝，但瞳孔中却闪烁着难以置信的光芒。

「林总！您快来看！X-8号配方！结合了低功率混合频率兆声激励和特定pH缓冲体系……数据……数据太好了！」

林薇立刻走到屏幕前。只见代表着线宽均匀性和边缘粗糙度的曲线，在整个晶圆范围内，呈现出前所未有的平坦和稳定。

尤其是之前问题最突出的高密度图形区域，改善尤为显着。

初步的缺陷扫描显示，颗粒控制水平与传统方案持平，但关键的界面态密度指标，出现了明显的下降。

「立刻将这批X-8配方处理的晶圆，送往后道完整制程！」

林薇的声音带着一丝不易察觉的颤抖，

「我们需要最终的电性验证！」

等待是煎熬的。三天后，当完整的电性测试报告送到林薇办公桌上时，即便是以冷静着称的她，也忍不住深吸了一口气。

报告显示，采用X-8清洗方案的测试晶片，其整体良率预估提升了惊人的7.2个百分点，更重要的是，晶片的核心性能参数，如开关速度丶漏电流等，均表现出更好的均匀性和一致性。

「我们……我们好像找到了！」

孙浩激动得声音都有些哽咽。这不仅仅是数据的提升，更证明了一条全新的技术路径的可行性。

林薇看着报告，脸上终于露出了久违的丶发自内心的笑容。她拿起笔，在报告扉页上郑重地写下了几个字：

「微界面精准调控清洗工艺」。

她立刻向陈醒和张京京通报了这一突破。陈醒在电话那头沉默了几秒，然后传来他强压激动的声音：

「太好了！林薇，你这是在我们最需要的时候，送来了一场『及时雨』！这不仅直接缓解了我们当前的良率压力，更重要的是，它为我们基于现有设备，极限挖掘工艺潜力，甚至为未来国产光刻机落地后的工艺匹配，打开了一扇新的大门！」

张京京也深感振奋：

「林总的这个发现意义重大！它提醒我们，突破封锁不只有『造新枪』一条路，把『子弹』做得更精良，同样能提升战斗力。这对我们『追光』团队也是极大的鼓舞！」

然而，沉浸在突破喜悦中的林薇，并没有停止思考。

在当晚与陈醒的视频通话中，她看着屏幕上丈夫疲惫却欣慰的脸，提出了一个更深层次的问题：

「醒，X-8配方效果显着，但它对工艺参数的波动非常敏感，任何一个条件的微小偏离，都可能让效果大打折扣。这说明我们对它的机理理解还不够透彻，它的工艺窗口还很狭窄。要想实现稳定的大规模量产，让良率真正实现质的飞跃，我们还需要更深入的基础研究，找到那个最核心的『调控开关』。」

陈醒点了点头，他明白林薇的意思。

发现是第一步，将发现转化为稳定丶可靠丶可大规模复制的生产技术，是更为艰巨的第二步。

「放心，」

陈醒语气坚定，

「『芯火燎原』计划里，就包含了针对核心工艺的基础研究专项。我马上协调资源，为你的微界面精准调控清洗工艺成立一个跨学科的联合研究小组，从表面物理丶胶体化学的角度，彻底吃透它！」

挂了电话，林薇走到窗前，望着远处「追光」大楼依旧明亮的灯火。

她知道，清洗工艺的突破只是一个开始，就像在漫漫长夜中擦亮了一根火柴，照亮了脚下的一小步。

但前路依然黑暗，那最为关键的丶能让晶圆良率实现决定性跨越的「质变」点，似乎仍隐藏在迷雾之后，需要他们用更多的智慧和汗水去探寻。